Avec le déclin du marché solaire de la découpe de fils de plaquettes de silicium polycristallin et monocristallin, le marché national de la découpe de poudre de carbure de silicium vert se rétrécit extrêmement. Mais dans le domaine de la coupe des fils semi-conducteurs, en particulier la coupe du cercle intérieur du silicium monocristallin, car la coupe liquide de la ligne de coupe en carbure de silicium peut protéger la douceur de la surface de la plaquette à couper mieux que la coupe solide de la ligne de coupe en diamant, poudre de carbure de silicium so green http://greensiliconcarbide.com Ayez toujours une place dans l’industrie des semi-conducteurs. Étant donné que la poudre de carbure de silicium découpée par fil semi-conducteur a de nombreuses exigences différentes pour les performances des matériaux par rapport aux abrasifs traditionnels, des exigences plus élevées sont également avancées en termes de qualité.
- Norme de taille de particule de carbure de silicium vert
Étant donné que la production nationale de poudre de carbure de silicium pour la coupe de fils semi-conducteurs a commencé tardivement, les fabricants nationaux de semi-conducteurs ont d’abord importé des produits de fabricants bien connus dans les pays développés, tels que ESK en Allemagne et FUJIMI au Japon. Par conséquent, certains fabricants nationaux de poudre de carbure de silicium adoptent principalement les normes européennes (FEPA), japonaises (JlS) et américaines (ANSI).
Cependant, étant donné que la majeure partie de la poudre de carbure de silicium découpée en fil de semi-conducteur domestique est exportée vers le Japon, la norme japonaise est largement adoptée dans le pays. La plus grande différence entre les normes nationales et étrangères est que l’indice de taille des particules adopté à l’étranger a augmenté D0 (taille maximale des particules), contrairement à la norme nationale. À ce stade, la norme nationale reste principalement dans la norme des abrasifs et des abrasifs ordinaires.
L’industrie des semi-conducteurs exige que la distribution granulométrique de la poudre de carbure de silicium verte soit concentrée autant que possible pour répondre aux exigences de précision de la coupe de fil.
- La composition chimique du carbure de silicium vert
La composition chimique a un impact sur la forme cristalline et l’effet d’utilisation de la poudre de carbure de silicium. Plus la composition chimique est élevée, meilleures sont les performances globales.
- La forme des particules de carbure de silicium vert
En tant que micro-poudre découpée au fil pour semi-conducteurs, la forme des particules aura un impact significatif sur l’effet de traitement de l’échantillon. D’une manière générale, contrairement au mécanisme de broyage utilisé dans le processus de broyage, la poudre de carbure de silicium utilisée pour la coupe des fils semi-conducteurs doit avoir une certaine valeur de rondeur et les particules doivent avoir des bords et des coins tranchants.
- Densité apparente du carbure de silicium vert
La densité apparente est un autre indicateur important de la poudre de carbure de silicium. Lorsque la taille des particules de la micro-poudre de carborundum est au niveau du micron, sa surface, son énergie de surface et son énergie de liaison de surface augmentent rapidement. Les principaux facteurs affectant la densité apparente de la micropoudre sont la surface spécifique, l’énergie de surface, l’énergie de liaison de surface et la force d’interaction entre les particules.
- Propreté du carbure de silicium vert
Étant donné que la puce a une exigence élevée en matière de propreté de la surface, si la surface de la puce est contaminée par des impuretés, le produit peut être mis au rebut. Lors de la coupe ou du polissage de la puce, il est facile d’introduire des impuretés, de sorte que la propreté de surface de la poudre de coupe de fil semi-conducteur est relativement élevée. La poudre verte de carbure de silicium produira une partie du carbone pendant le processus de fusion. Dans le processus de criblage ultérieur, bien que le carbure de silicium brut soit décapé, après un broyage supplémentaire, il reste encore une partie de carbone libre dans le bloc de carbure de silicium. Le processus de production de la poudre de carbure de silicium vert consiste à décaper après broyage, en évitant le carbone libre résiduel dans le tissu, et la pureté est plus élevée (elle peut atteindre plus de 99% de SiC)
- Teneur en résidus acides et alcalins de la poudre de carbure de silicium vert
Le processus général de production de poudre micronisée est le processus de décapage. Dans l’ensemble du processus, si le lavage à l’eau n’est pas suffisamment minutieux, des résidus acides et des impuretés resteront à la surface des particules de micropoudre. Ces résidus peuvent ne pas être évidents au stade de la micropoudre, mais s’il est transformé en un produit, il montrera des différences de performance, ce qui affectera le produit. qualité.