Micron en carbure de silicium vert pour le polissage du matériau PZT

Le micron de carbure de silicium vert est une sorte d’abrasif non métallique à haute dureté et haute résistance mécanique. Il peut faire un broyage agressif. Le carbure de silicium vert présente de grands avantages pour le meulage des matériaux PZT ( céramique piézoélectrique ).

Le PZT est un matériau céramique fonctionnel qui convertit l’énergie mécanique et l’énergie électrique l’une en l’autre. Ils sont largement utilisés dans l’optique, les semi-conducteurs, les instruments et d’autres domaines. Cependant, les céramiques sont fragiles et difficiles à traiter par piézoélectricité. Dans la dernière étape de traitement de surface de la céramique PTZ, la machine de polissage double face est utilisée pour meuler et polir la plaquette PZT. Généralement, le traitement de surface du PZT, tel que la rugosité graduée et le meulage, est effectué avec du carbure de silicium vert 50 microns, 40 microns, 20 microns et 14 microns. Après la rugosité, la surface de la plaquette est uniforme sans rayures et la rugosité peut atteindre 1,2 à 1,5 um. Au stade du polissage fin et du broyage fin, des poudres de corindon blanc de 14 microns, 7 microns et 5 microns sont sélectionnées pour un broyage fin. La rugosité du produit après polissage est inférieure à 50nm.

Afin d’obtenir l’effet de meulage du polissage sans rayure, la taille des particules de l’abrasif vert au carbure de silicium doit être strictement contrôlée. Dans cette situation, la taille des particules doit être la même que possible et la plage de taille des particules doit être étroite. S’il y a de grosses particules, il est facile d’endommager la surface en céramique. S’il y a beaucoup de particules fines, cela réduira l’efficacité du broyage. Par conséquent, la poudre de carbure de silicium verte calibrée par débordement de lavage à l’eau est l’abrasif approprié.