Dans les équipements de production de semi-conducteurs, les composants céramiques hautes performances sont essentiels. Les céramiques en carbure de silicium, en particulier, sont des composants importants dans les équipements clés tels que les machines de gravure, les machines de lithographie, les machines d’implantation ionique, etc. Par exemple, les ventouses de meulage et de polissage, les ventouses de photolithographie, les ventouses d’inspection, les processus de gravure et les plates-formes de mouvement ont tous les caractéristiques suivantes : présence de céramiques de carbure de silicium. Ces composants céramiques en carbure de silicium présentent une bonne stabilité structurelle, une bonne stabilité thermique, une résistance à l’usure, une résistance à la corrosion et une précision dimensionnelle élevée. La poudre de carbure de silicium, en tant que matière première principale pour la production de céramiques de carbure de silicium, doit également avoir des propriétés bonnes et stables. Parmi eux, la poudre de SiC noire 800# pour ventouses poreuses en céramique de carbure de silicium est une application typique.