Poudre SiC noire 800# pour équipements semi-conducteurs – céramique poreuse en carbure de silicium
Dans les équipements de production de semi-conducteurs, les composants céramiques hautes performances sont essentiels. Les céramiques en carbure de silicium, en particulier, sont des composants importants dans les équipements clés tels que les machines de gravure, les machines de lithographie, les machines d’implantation ionique, etc. Par exemple, les ventouses de meulage et de polissage, les ventouses de photolithographie, les ventouses d’inspection, les processus de gravure et les plates-formes de mouvement ont tous les caractéristiques suivantes : présence de céramiques de carbure de silicium. Ces composants céramiques en carbure de silicium présentent une bonne stabilité structurelle, une bonne stabilité thermique, une résistance à l’usure, une résistance à la corrosion et une précision dimensionnelle élevée. La poudre de carbure de silicium, en tant que matière première principale pour la production de céramiques de carbure de silicium, doit également avoir des propriétés bonnes et stables. Parmi eux, la poudre de SiC noire 800# pour ventouses poreuses en céramique de carbure de silicium est une application typique.
Avec la production raffinée de poudre de SiC, les propriétés physiques et chimiques ainsi que la stabilité granulométrique ont fait des progrès significatifs. La fine poudre de SiC noire raffinée à partir du criblage, du lavage acide-alcali et du lavage à l’eau est plus adaptée aux exigences des domaines de haute technologie tels que les semi-conducteurs. Les caractéristiques spécifiques sont les suivantes :
1. Stabilité à haute température.
La poudre de SiC noir a un point de fusion et une stabilité thermique très élevés, permettant aux céramiques poreuses de maintenir de bonnes performances dans des environnements à haute température.
2. Haute pureté.
Après traitement chimique et lavage à l’eau, la poudre de carbure de silicium noir a une faible teneur magnétique, une faible teneur en carbone libre, une bonne fluidité et une dispersion facile.
3. Concentration granulométrique élevée.
Haute cohérence dans la taille des particules, gamme étroite de particules de poudre et densité de tassement élevée. Il peut améliorer la densité des céramiques de carbure de silicium.
4. Excellentes propriétés mécaniques.
Le SiC noir a une dureté, une résistance et une excellente résistance à la compression. Il peut améliorer la résistance mécanique et la résistance à l’usure des céramiques poreuses.
5. Forte stabilité chimique.
Le carbure de silicium noir présente une bonne résistance à la corrosion des acides, des bases et de la plupart des substances chimiques. Cela peut améliorer la stabilité chimique et la résistance à la corrosion des céramiques poreuses.
6. Bonne conductivité thermique.
En raison de la conductivité thermique élevée du carbure de silicium noir, les céramiques poreuses peuvent transférer et disperser la chaleur plus efficacement.
7. Faible coefficient de dilatation thermique.
Le carbure de silicium noir a un coefficient de dilatation thermique plus faible. Il aide à réduire le stress thermique et les dommages des céramiques poreuses lors des changements de température.
8. Résistance améliorée à l’oxydation.
Le SiC noir peut améliorer la résistance à l’oxydation des céramiques poreuses et prolonger leur durée de vie.
En résumé, l’utilisation de carbure de silicium noir comme additif ou matériau de base pour les céramiques poreuses peut améliorer considérablement sa stabilité à haute température, ses propriétés mécaniques, sa stabilité chimique et diverses autres propriétés. Ces avantages le rendent plus largement applicable dans les environnements à haute température, haute pression et hautement corrosifs, en particulier dans l’industrie des équipements semi-conducteurs.
