Poudre verte de carbure de silicium pour le polissage photoélectrique de tranche
La poudre de carbure de silicium vert 2500 #, 3000 #, 4000 # et 6000 # est le principal milieu de broyage pour le broyage de plaquettes photoélectriques . Dans l’industrie des semi-conducteurs, la poudre de carbure de silicium vert de 2 000 à 2 500 mailles était autrefois utilisée comme matériau principal pour la découpe au fil des tranches de silicium. Avec le développement de la technologie de coupe au fil et la production de masse de poudre de diamant synthétique, la poudre de diamant remplace progressivement la poudre de carbure de silicium vert. Cependant, dans l’industrie photoélectrique, la poudre de carbure de silicium vert joue toujours un rôle important dans le domaine du broyage.
Le cristal photoélectrique est un composant important d’un phototransistor, qui convertit l’énergie lumineuse en énergie électrique pour réaliser la conversion et la sortie de courant. Il est également possible de détecter des impulsions optiques et de les convertir en signaux de pad numériques. Les wafters photoélectriques sont généralement des matériaux cristallins synthétiques dotés de propriétés photoélectriques, et les principaux matériaux comprennent les cristaux de niobate de lithium (LiNbO3), les cristaux de tantalate de lithium (LiTaO3), les cristaux de dioxyde de silicium (SiO2), les cristaux de dioxyde de titane (TiO2), les cristaux d’oxyde de tellure (TeO2) , cristaux de titanate de baryum et de titane (BaTiO3) et cristaux de métaborate de baryum BBO (β- BaB2O4) et ainsi de suite.
Le traitement et le broyage des cristaux photoélectriques sont des processus clés dans la production de composants photoélectriques. Une rugosité de surface cristalline raisonnable affectera les performances des composants. La dureté des cristaux photoélectriques mentionnés ci-dessus est de 7-7,5 (dureté Mohs) ou 4-6 (dureté Mohs), et le carbure de silicium vert peut réaliser un broyage efficace pour ces cristaux. Le carbure de silicium vert a une dureté Vickers de 3280-3400 kg/mm2 ou une microdureté de 33Gpa. Il est stable à des températures élevées et dans la plupart des environnements chimiques et est un matériau abrasif courant pour le meulage des cristaux photoélectriques.
Cependant, toutes les poudres de carbure de silicium vert sur le marché ne peuvent pas répondre aux exigences du broyage des cristaux photoélectriques. Cela est dû à l’uniformité et à la forme des particules ultrafines. Tout d’abord, la portée des particules de poudre de carbure de silicium vert est grande. Les grosses particules de poudre de meulage rayeront la surface du cristal et provoqueront des rayures. De fines particules de poudre de meulage conduiront à une efficacité de meulage réduite. Deuxièmement, la morphologie des particules de poudre de carbure de silicium vert. Les angles vifs et les particules de poudre de meulage en forme d’aiguille ne sont pas propices au meulage d’une surface lisse. D’autre part, des particules relativement arrondies sont bénéfiques pour le broyage.
En réponse à ces deux situations, les fabricants de poudres vertes de carbure de silicium peuvent maîtriser leurs procédés en les améliorant. Premièrement, la poudre de meulage de carbure de silicium vert à débordement peut réduire la proportion de poudre fine par rapport aux particules grossières. Il peut également contrôler la taille des particules de la poudre de broyage dans une plage étroite. Cela garantit la consistance des particules. Deuxièmement, l’utilisation de méthodes de traitement physique raisonnables peut modifier la forme des particules de la poudre de meulage. Du processus de broyage initial à la mise en forme des particules de la voie arrière, un contrôle strict a été mis en place, réduisant considérablement la proportion de particules pointues, colonnaires et en forme d’aiguille.
